Phân loại sản phẩm
Hệ thống tổng thể
Thiết bị được cấu tạo theo dạng clusterkeo truc tiep, bao gồm hệ thống lắng đọng màng phim quang điện, hệ thống tách electron MAMS, hệ thống hút chân không, hệ thống phủ vật liệu hấp thụ trong chân không, và hệ thống loại bỏ khí tổng thể. Thiết bị có thể hoạt động tự động đồng bộ toàn bộ hoặc từng hệ thống riêng biệt mà không gây xung đột lẫn nhau, giữa các hệ thống có thể thiết lập khóa liên động. Được chế tạo bằng chất liệu 316, đã một số cổng kết nối mặt bích.
- Mô tả sản phẩm
-
Dự án
Cấu hình và chỉ số 1
Kết cấu tổng thể Thiết bị được cấu tạo theo dạng clusterj88vip1, bao gồm hệ thống lắng đọng màng phim quang điện, hệ thống tách electron MAMS, hệ thống hút chân không, hệ thống phủ vật liệu hấp thụ trong chân không, và hệ thống loại bỏ khí tổng thể. Thiết bị có thể hoạt động tự động đồng bộ toàn bộ hoặc từng hệ thống riêng biệt mà không gây xung đột lẫn nhau, giữa các hệ thống có thể thiết lập khóa liên động. Được chế tạo bằng chất liệu 316, đã một số cổng kết nối mặt bích. 2
Điều khiển hệ thống Hệ thống điều khiển thiết bị có thể thực hiện thao tác đơn máy hoặc liên kết máykeo truc tiep, đồng thời được trang bị máy tính cấp cao để thực hiện bố trí 1 kéo 6. Logic điều khiển cụ thể được thiết lập khóa liên động, giao diện điều khiển rõ ràng và có thể thiết lập quyền chỉnh sửa quy trình. 3
Quy trình công nghệ Đặt chip --- truyền chip --- xác định điều kiện sinh trưởng (dòng điệnkeo truc tiep, nhiệt độ nền) -- khử oxy -- ổn định nhiệt độ nền --- tăng nhiệt nguồn chùm --- bắt đầu sinh trưởng --- kiểm soát sinh trưởng --- kết thúc sinh trưởng --- giảm nhiệt nguồn chùm --- giảm nhiệt độ nền --- phục hồi chân không --- truyền mẫu -- lấy chip --- phục hồi chân không. 4
Hệ thống kiểm tra trực tiếp Nguồn sáng tiêu chuẩn điều khiển 3100K hoặc các màu sắc khácbd so, cường độ ánh sáng có thể thay đổi, có thể thu thập thông tin chiếu sáng. Thiết bị có điện áp điều khiển từ 0 đến 500V, độ chính xác 1/1000, bảo vệ ngắn mạch tự động. Dòng quang điện được thu thập thực thời từ 10nA đến 10mA, tự động chuyển dải, độ chính xác 1/1000.
Có chức năng kích hoạt độ dốc rò điện.5
Nguồn nhiệt và nguồn điện Có ít nhất ba vị trí hợp kim kim loại + một vị trí thanh kim loại đơn chấtj88vip1, điều khiển dòng điện để điều chỉnh tốc độ nguồn chùm, có thể đạt được đầu ra 0-10A, điều chỉnh liên tục. Có thiết lập bảo vệ quá áp và quá nhiệt. 6
Bộ phận bóc tách điện tử Dòng kích thích của nguồn tách có thể điều chỉnh từ 0-10Abd so, độ chính xác điều chỉnh 0.001A, khu vực hiệu quả được kiểm soát với đường kính lớn nhất là 35mm. Độ chính xác năng lượng ±0.1% tại đường kính 35mm. Dải đo cường độ có cảnh báo quá tải. 7
Hệ thống chân không Thiết bị sử dụng hệ thống chân không kép gồm bơm phân tử và bơm nhiệt độ thấp để đáp ứng các yêu cầu công nghệ khác nhauj88vip1, độ chân không làm việc ≤8*10 -7 pabd so, có bảo vệ trước bơm. 8
Hệ thống sưởi ngoài Nhiệt độ sấy ngoài ≤500°Cbd so, thời gian sấy 24 giờ, các thành phần của thiết bị có thể chịu được nhiệt độ này trong thời gian dài. Phạm vi nhiệt độ, (RT)+80°C ~ 500°C, độ chính xác hiển thị 0.1°C, độ dao động nhiệt độ ±1.0°C, độ đồng đều nhiệt độ ±2.0%, thời gian gia nhiệt từ 25–400°C khoảng 90 phút.
Từ khóa:
Nhận báo giá
Sản phẩm liên quan
Người liên hệ: Cô Đới
Địa chỉ: Số 3370 Đường Lưu Hiênj88vip1, Quận Nam Sơn, Thành phố Sâu Thiên, tỉnh Quảng Đông
Địa chỉ văn phòng Thiều Dương: Số 15 Đường Vọng Hoa Nambd so, Quận Đại Đông, Thành phố Thiều Dương, tỉnh Liêu Ninh
Điện thoại:
13632750017
Email:
sales@hitsemi.com
Gửi lời nhắn trực tuyến