Trung tâm sản phẩm
logo

Phân loại sản phẩm

+
  • PECVD-Chính.jpg
  • PECVD-Phải.jpg
  • PECVD-Trái.jpg

Thiết bị lắng đọng pha hóa học được tăng cường bằng plasma PECVD

Máy phún xạ hóa học bằng plasma (PECVD) được sử dụng chủ yếu để tạo lớp màng nitrua silic và oxit silic trong môi trường chân không sạch; việc sử dụng công nghệ phún xạ hóa học bằng plasma đơn tần hoặc kép giúp tạo ra các lớp màng chất lượng cao như nitrua silic và oxit silicbd so, là thiết bị lý tưởng cho quy trình sản xuất.

Danh mục thuộc về:

Thiết bị lắng đọng pha hóa học được tăng cường bằng plasma PECVD

Hỗ trợ dịch vụ:

13632750017

Nhận báo giá
Sản phẩm liên quan
  • Mô tả sản phẩm

  • Thiết bị lắng đọng pha hóa học được tăng cường bằng plasma PECVD Chủ yếu được sử dụng trong môi trường chân không sạch để tạo lớp màng nitrua silic và oxit silic; việc áp dụng công nghệ phún xạ hóa học bằng plasma đơn tần hoặc kép là phương pháp lý tưởng để lắng đọng các lớp màng nitrua silic và oxit silic có chất lượng cao.

    Mục đích và đặc điểm chức năng của thiết bị
    Thiết bị này là máy phún xạ hóa học bằng plasma PECVD ở chân không cao với tần số đơn hoặc képbd so, được sử dụng chủ yếu để sản xuất lớp màng nitrua silic và
    Thiết bị có khả năng bảo vệ mạnh mẽbd so, bao gồm kiểm tra và bảo vệ hệ thống chân không, kiểm tra và bảo vệ áp suất nước, kiểm tra và bảo vệ thứ tự pha, cũng như kiểm tra và bảo vệ nhiệt độ.
    3bóng đá hôm nay, Hệ thống xử lý khí thải được trang bị.
    Thiết kế an toàn cho thiết bị
    1tin tức thể thao 24h mới nhất, Kiểm tra và bảo vệ hệ thống điện.
    2tin tức thể thao 24h mới nhất, Cài đặt chức năng kiểm tra chân không và báo động bảo vệ.
    3bd so, Kiểm tra nhiệt độ và báo động bảo vệ.
    4bd so, Kiểm tra áp lực và lưu lượng hệ thống nước làm mát tuần hoàn và báo động bảo vệ.

    5bd so, Đường dẫn khí công nghệ có thiết bị ngăn ngừa ô nhiễm chéo.

    Chỉ tiêu kỹ thuật của thiết bị

    Loại

    Tham số

    Kích thước mẫu thử

    ≤φ8 inch (hoặc nhiều mẫu 2 inch)

    Nhiệt độ gia nhiệt bàn gia nhiệt mẫu

    Nhiệt độ phòng ~ 600°C ± 0.1°C

    Chân không cực hạn của buồng chân không

    ≤3×10 -5 Pa

    Chân không nền làm việc

    ≤4×10 -4 Pa

    Tốc độ rò rỉ tổng thể của thiết bị

    Sau khi bơm dừng 12 giờbd so, độ chân không ≤ 10Pa

    Khoảng cách giữa mẫu và điện cực

    5mm ~ 50mm điều chỉnh trực tiếp

    Áp suất điều khiển làm việc

    10Pa ～ 1500Pa

    Vòng lặp kiểm soát khí

    Được cấu hình theo yêu cầu công nghệ

    Tần số nguồn tần số đơn

    13.56MHz

    Tần số nguồn tần số kép

    13.56MHz/400KHz

    Điều kiện làm việc

    Loại

    Tham số

    Nguồn điện

    Điện áp ba pha năm dây AC 380V

    Nhiệt độ môi trường làm việc

    10℃～ 40℃

    Áp lực cung cấp khí van khí

    0.5MPa ～ 0.7MPa

    Áp lực đầu vào của bộ điều khiển lưu lượng khối lượng

    0.05MPa ～ 0.2MPa

    Lưu lượng tuần hoàn nước làm mát

    0.6m 3 /h Nhiệt độ nước 18°C ~ 25°C

    Công suất tổng của thiết bị

    7kW

    Diện tích chiếm chỗ của thiết bị

    2.0m ～ 2.0m

    Thiết bị PECVD một buồng và nhiều buồng

Từ khóa:

Lắng đọng hóa học bằng plasma tăng cường PECVD

Thiết bị PECVD

Công nghệ tần số kép

Hệ thống lắng đọng hóa học bằng plasma PECVD

Thiết bị chế tạo màng mỏng

Thiết bị phủ màng chân không

Thiết bị lắng đọng chân không màng chức năng

Nhận báo giá

Lưu ý: Vui lòng để lại địa chỉ email của bạnbóng đá hôm nay, nhân viên chuyên môn của chúng tôi sẽ liên hệ với bạn sớm nhất!

Kiểm tra an toàn
Gửi ngay lập tức
Địa chỉ công ty
Gửi lời nhắn trực tuyến
Tất cả sản phẩm
img

Người liên hệ: Cô Đới
Địa chỉ: Số 3370 Đường Lưu Hiêntin tức thể thao 24h mới nhất, Quận Nam Sơn, Thành phố Sâu Thiên, tỉnh Quảng Đông

Địa chỉ văn phòng Thiều Dương: Số 15 Đường Vọng Hoa Nambd so, Quận Đại Đông, Thành phố Thiều Dương, tỉnh Liêu Ninh
Điện thoại: 13632750017
Email: sales@hitsemi.com

img

Gửi lời nhắn trực tuyến

Kiểm tra an toàn
Gửi lời nhắn
%{tishi_zhanwei}%

Xây dựng website: Trung tâm Động lực Trung Quốc Thiều Dương

Từ khóa SEO

Giấy phép kinh doanh
\n %{tishi_zhanwei}% \n
\n \n%{tishi_zhanwei}% là biếntin tức thể thao 24h mới nhất, không thể xóa\nLớp chứa pl_toast bên ngoài không thể xóa\n"bd so,"advanced":{"customState":[{"select":true,"label":"Chưa xử lý","value":1},{"label":"Đã duyệt","value":2},{"label":"Từ chối","value":3}],"message":1}},"validate_32":{"minLength":{"msg":"Bạn nhập nội dung không thể ít hơn %len ký tự","state":false,"value":5},"custom":{"msg":"","reg":"","state":false},"required":{"msg":"Nội dung không được để trống","value":true},"maxLength":{"msg":"Bạn nhập nội dung không thể vượt quá %len ký tự","state":false,"value":128}},"validate_31":{"minLength":{"msg":"Bạn nhập nội dung không thể ít hơn %len ký tự","state":false,"value":5},"custom":{"msg":"","reg":"","state":false},"required":{"msg":"Nội dung không được để trống","value":false},"maxLength":{"msg":"Bạn nhập nội dung không thể vượt quá %len ký tự","state":false,"value":128}},"ct_38":"df","customParam_31":"","state_31":"normal","ddItem_29":{},"customParam_32":"","state_32":"normal","ddItem_31":{},"ddItem_32":{},"logic_33":[],"validate_29":{"minLength":{"msg":"Bạn nhập nội dung không thể ít hơn %len ký tự","state":false,"value":5},"custom":{"msg":"","reg":"","state":false},"required":{"msg":"Nội dung không được để trống","state":true,"value":true},"maxLength":{"msg":"Bạn nhập nội dung không thể vượt quá %len ký tự","state":false,"value":128}},"prompt_33":"","href_18":{"type":"","value":"","target":""},"prompt_34":"","customParam_29":"","initType_32":1,"dense_34":"","type_44":"slide","initType_31":1,"placeholder_29":"* Nội dung tin nhắn:","label_44":"Kiểm tra an toàn","enterSubmit_31":false,"enterSubmit_32":false,"async_28":{"status":2,"target":"","relation":[]},"type_32":"text","selectValue_8":"1","enterSubmit_29":false,"type_33":1,"type_31":"text","reload_33":1,"placeholder_32":"* Điện thoại cố định/điện thoại di động:","placeholder_31":"Email:","type_37":"kinh doanh","status_6":true,"status_5":true,"label_31":"Email","label_32":"Số điện thoại","setting_18":{"fit":"contain","errorUrl":"","needThumb":"true","isLazy":"false"},"imgList2_43":[],"showLabel_44":true,"status_4":true,"cuname_29":"textarea1702546353607","href_5":{"transport":[],"type":"page","value":{"pageId":"c71fc37e-ed16-4f11-be73-cae7aa83e029","hash":""},"target":"_self"},"href_4":{"transport":[],"type":"link","value":"/ugoys8de.html","target":"_self"},"href_6":{"transport":[],"type":"page","value":{"pageId":"4ca3957c-1d7b-44c7-b78a-314ba6ca109e","hash":""},"target":"_blank"},"watermark_37":true,"sourceUuid_28":"1736565901391691776","showLabel_31":false,"showLabel_32":false,"action_33":1,"href_43":{"type":"","value":"","target":""},"showArrow_10":true,"showPlaceholder_29":true,"cuname_32":"text1702546374309","cuname_31":"text1702546401480","initType_29":1,"imgList1_18":[],"showLabel_29":false}"/>

Liên kết thân thiện:

soi kèo hôm nay slot machines bắn cá săn thưởng bóng đá trực tuyến game bắn cá 79king1 vip888