Phân loại sản phẩm
Thiết bị lắng đọng pha hóa học bằng sợi nóng HFCVD
Các thiết bị CVD sợi nóng được phát triển và sản xuấttrò bắn cá, chia thành hai loại: thiết bị thí nghiệm và thiết bị sản xuất. Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để nghiên cứu và sản xuất màng tinh thể kim cương vi mô và nano. Có thể áp dụng cho các lĩnh vực như cơ học, nhiệt học, quang học và âm học trong việc nghiên cứu và sản xuất sản phẩm kim cương. Có thể chế tạo các tấm tinh thể đa tinh thể kim cương lớn, dùng để làm bộ tản nhiệt cho các linh kiện công suất cao, thiết bị tần số cao và lazer công suất lớn.
- Mô tả sản phẩm
-
Đã thiết kếj88vip1, phát triển và sản xuất thiết bị CVD sợi nóng kim cương, được chia thành hai loại: thiết bị thí nghiệm và thiết bị sản xuất.
Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để nghiên cứu và sản xuất màng tinh thể kim cương vi mô và nano. Có thể áp dụng cho các lĩnh vực như cơ họccá cược bóng đá, nhiệt học, quang học và âm học trong việc nghiên cứu và sản xuất sản phẩm kim cương.
Có thể chế tạo các tấm tinh thể đa tinh thể kim cương lớntrò bắn cá, dùng để làm bộ tản nhiệt cho các linh kiện công suất cao, thiết bị tần số cao và lazer công suất lớn.
Có thể sử dụng để sản xuất lớp phủ cứng chống ăn mòncá cược bóng đá, mài mòn; sản phẩm kim cương dùng trong lĩnh vực xử lý nước thải môi trường.
Có thể sử dụng để chế tạo lớp phủ cứng bằng kim cương trên bề mặt phẳng hoặc các bề mặt không đều của dao cắt.
Có thể sử dụng cho nghiên cứu và sản xuất pin mặt trời màng mỏng.Kích thước chi tiết
Kích thước bề mặt phẳng tròn: lớn nhất φ600mm.
Kích thước làm việc hình chữ nhật có chiều rộng 1000mm và chiều dài được xác định dựa trên chiều dài buồng phủ (ví dụ: chiều dài vật thể là 1500mm).
Được trang bị bàn mẫu làm mát bằng nước.
Có thể phủ một mặt hoặc hai mặt.Dây chuyền sản xuất màng kim cương
Công suất nguồn sợi nóng
Đến 300KWtrò bắn cá, có thể điều chỉnh từ 1KW đến 300KW (có thể cấu hình phạm vi công suất theo yêu cầu quy trình của người dùng)
An toàn của thiết bị
- Kiểm tra và bảo vệ hệ thống điện
- Thiết lập chức năng kiểm tra chân không và báo động bảo vệ
- Hệ thống tuần hoàn làm mát kiểm tra áp lực và lưu lượng cùng với chức năng báo động bảo vệ
- Thiết lập thiết bị kiểm tra áp lực nước và báo động bảo vệ
- Thiết lập thiết bị báo động kiểm tra lưu lượng nướcThiết bị CVD sợi nóng kim cương
Cấu thành thiết bị
Cấu tạo buồng chân không
Cấu trúc làm mát bằng nước képtrò bắn cá, kiểu tròn đứng, D đứng, hình chữ nhật đứng, hình chữ nhật nằm ngang, cửa trước và sau, kích thước chân không, được xác định dựa trên kích thước và số lượng vật thể.
Sợi nóng
Vật liệu sợi nóng: dây tantalum hoặc dây vonfram
Nhiệt độ sợi nóng: 1800℃–2500℃ có thể điều chỉnh
Sợi nóng không cong (giải quyết vấn đề sợi nóng bị cong sau thời gian dài gia nhiệt)
Bàn mẫu
Có thể làm mát bằng nướcj88vip1, có thể đặt điện áp, có thể xoay và nâng hạ, được điều khiển bởi động cơ tốc độ điều chỉnh, có thể thực hiện nâng hạ tự động, khoảng cách giữa sợi nóng và nền có thể điều chỉnh trong phạm vi từ 5 đến 100mm, yêu cầu nâng hạ êm ái, sự dao động lên xuống không vượt quá 0,1mm.
Đường dẫn khí hoạt động (CVD)
Đường dẫn khí hoạt động được cấu hình theo yêu cầu quy trình của người dùng:
Dưới đây là ví dụ về cấu hình của một người dùng.
H 2 (5000sccmtrò bắn cá, nồng độ 100%)
CH 4 (200sccmtrò bắn cá, nồng độ 100%)
B 2 H 6 (50sccm,H 2 Nồng độ 99%)
Ar (1000sccmtrò bắn cá, nồng độ 100%)
Hệ thống đạt được và đo lường chân không
Hệ thống điều khiển và phần mềm
Nhận báo giá
Sản phẩm liên quan